微粉末注射成形(Micro Powder Injection Molding,µ-PIM)技術始于20世紀80年代末,*早是德國IFAM研究所在傳統粉末注射成形的基礎上針對尺寸小到1 µm的零件所開發的一種成形技術。與傳統的粉末注射成形相比,微粉末注射成形同樣包括混煉、注射成形、脫脂和燒結等基本工藝步驟,然而微粉末注射成形對粉末粒徑,粘結劑和模具等都提出了不同的要求。首先,為了便于成形微細結構,微粉末注射成形所用的粉末粒徑必須很小,德國Volker Plotter等人的研究表明:使用平均粒徑1—5µm的金屬粉末能制造出微細結構并且保證其表面質量良好;而使用平均粒徑O.5µm或者更小的陶瓷粉末結果更好。其次,由于粉末比表面積增大,微粉末注射成形需要使用黏度較低但有足夠強度的粘結劑,這樣不但有利于微注射成形而且可避免注射坯件脫模時損壞。模具在微粉末注射成形中的作用不可忽視,因為模具的表面質量直接影響零件的表面質量。為了得到表面質量良好的微型零件,微粉末注射成形所用模具應具有很低的表面粗糙度,這就對模具的制造技術提出嚴格要求,目前能應用于微注射成形模具的制造技術有刻蝕技術、光刻一電鑄一脫模(LIGA)技術和激光燒蝕技術等。除此之外,無論是材料或是工藝仍有許多因素直接影響微細粉末注射成形。